크린룸

대기중 입자의 크기
대기중에는 눈으로 확인 할 수 있는 미세먼지, 기름 연기 및 금속분말 등에서 부터 육안으로는 확인되지 않는 미립자 등 먼지가 부유하고 있습니다.
그 입자들은 크기 0.001㎛에서 100㎛정도까지 대기중에 광범위하게 포함하고 있습니다. 사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다. 크린룸에서 제어되는 입자의 크기는 1㎛ 이하의 입자(Sub micron)를 대상으로 하고 있습니다. FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도 대상 입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다.
아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다.
그 입자들은 크기 0.001㎛에서 100㎛정도까지 대기중에 광범위하게 포함하고 있습니다. 사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다. 크린룸에서 제어되는 입자의 크기는 1㎛ 이하의 입자(Sub micron)를 대상으로 하고 있습니다. FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도 대상 입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다.
아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다.



축적한 기술을 바탕으로 공정관리, 자재관리, 공사비관리, 안전관리, 인원관리, 공사품질관리를 완벽하게 추구하고 있습니다.


최근 전자공업, 정밀 기계공업 등 첨단산업의 발달로 인하여 그 생산제품에는 정밀화, 미세화, 고품질화 및 고신뢰성이 요구되고 있습니다. 전자공장, FILM 공장 또는 정밀 기계공장 등에서는 실내 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되면 제품의 불량을 초래하고, 사용 목적에 적합한 제품의 생산에 저해요소가 되어 제품의 신뢰성과 수율(생산원가)에 막대한 영향을 미치므로 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서는 필요에 대응하는 청정한 환경이 유지되도록 하여야 합니다.
이런 목적의 청정 공간을 Industrial Clean Room 이라고 하며, 대단히 높은 청정상태가 요구되는 경우가 많습니다.
이런 목적의 청정 공간을 Industrial Clean Room 이라고 하며, 대단히 높은 청정상태가 요구되는 경우가 많습니다.
ICR의 적용분야 및 특징
CR의 적용분야 / Applied Area | 특기사항 / Description | ||
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ICR | 전자공업 (Electronic Industry) |
반도체 Semi-Conductor |
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프린트판 |
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전자계산기 Electronic Calculator |
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인공위성 Satellite |
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부막 Thin Film |
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정밀공업 (Predision Industry) |
정밀기계 Precision Machines |
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광학기계 Optical Machines |
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시계 Watch |
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제약공장, 식품공장, 병원의 수술실 등에서는 제품의 오염방지, 변질방지 및 환자의 감염방지를 위해 무균에 가까운 상태가 요구됩니다.
일반 박테리아는 고성능 Filter에 잡혀 제거되지만, 바이러스 박테리아에 비해 대단히 작기 때문에 그 자체만으로는 제거하기가 곤란합니다. 그러나, 대부분의 박테리아나 바이러스는 공기중의 부유 미립자에 부착해서 존재하므로 공기중 미립자를 제거함으로써 세균류도 제거가 가능합니다. 공기중의 세균을 제거하는 것으로는 자외선 또는 염화리튬등의 약품을 사용하여 살균하는 것이 보통이었지만 근래에는 고성능 Filter를 통해서 공기를 정화함으로써 무균에 가까운 상태를 얻을 수 있습니다.
이러한 목적의 청정공간을 Biological Clean Room이라고 합니다.
일반 박테리아는 고성능 Filter에 잡혀 제거되지만, 바이러스 박테리아에 비해 대단히 작기 때문에 그 자체만으로는 제거하기가 곤란합니다. 그러나, 대부분의 박테리아나 바이러스는 공기중의 부유 미립자에 부착해서 존재하므로 공기중 미립자를 제거함으로써 세균류도 제거가 가능합니다. 공기중의 세균을 제거하는 것으로는 자외선 또는 염화리튬등의 약품을 사용하여 살균하는 것이 보통이었지만 근래에는 고성능 Filter를 통해서 공기를 정화함으로써 무균에 가까운 상태를 얻을 수 있습니다.
이러한 목적의 청정공간을 Biological Clean Room이라고 합니다.
BCR의 적용분야 및 특징
CR의 적용분야 / Applied Area | CR의 필요이유 / Reason Why Necesstly | 특기사항 / Description | ||
---|---|---|---|---|
BCR | 의약품관련 (Phamaceulical) |
의약품 Drugs |
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실험효과 Laboratory |
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식품 · 화장품 Foods · Cosmetics |
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Bio-HAZARO |
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병원 (Hospital) |
BCR 수술실 BCR 병원 Operation Room Hospital |
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신생아실 ICU 기타 Infant Room |
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Clean Room의 기류속도 선택에 관한 일반적 규칙을 나타냅니다.
기류속도는 (1) 평균속도(m/sec or ft/min)또는 (2) 시간당 환기횟수 (횟수/hour)로 규정됩니다.
Clean Room의 기류속도(IES-RP-CC012/Table1)
Class표시 | 기류형태 | 평균기류속도 | 시간당환기 |
---|---|---|---|
M7 & M6.5 (Class 100,000) | NM | .005-.041m/sec(1-8ft/min) | 5-48 |
M6 & M5.5 (Class 10,000) | NM | .051-.076m/sec(10-15ft/min) | 60-90 |
M5 & M4.5 (Class 1,000) | NM | .127-.203m/sec(20-40ft/min) | 150-240 |
M4 & M3.5 (Class 100) | UNM | .203-.406m/sec(40-80ft/min) | 240-480 |
M3 & M2.5 (Class 10) | U | .254-.457m/sec(50-90ft/min) | 300-540 |
M2 & M1.5 (Class 1) | U | .305-.457m/sec(60-90ft/min) | 360-540 |
M1 Cleaner | U | .305-.508m/sec(60-100ft/min) | 360-600 |
(U=단일 방향류 N=비단일 방향류 M=혼류)
1. 평균 기류속도는 일반적으로 단일 방향류(층류) 경우에 이용합니다.
2. 시간당 환기횟수는 다음의 식에 의해 산출됩니다.
시간당 환기 횟수[횟수/hr] = 평균 기류 속도(m/sec)x토출면적(㎡)x3,600sec 실내용적(㎥)
1. 평균 기류속도는 일반적으로 단일 방향류(층류) 경우에 이용합니다.
2. 시간당 환기횟수는 다음의 식에 의해 산출됩니다.
시간당 환기 횟수[횟수/hr] = 평균 기류 속도(m/sec)x토출면적(㎡)x3,600sec 실내용적(㎥)



항목 | 내용 |
---|---|
출입구 | 입구, 출구는 최소로 하고 따로 생각해야 합니다. (특히, Air Shower설치시) 직접 외기에 닿지 않도록 할 것(Air 락룸) 위치는 하류로 한다.(특히 크로스 플로어) |
갱의실 | 갱의실의 공기량은 많이 취해야 합니다. 세면대를 부착시키고, 사람이 많은 경우는 음료수를 준비 Clean Room간은 적어도 이중문으로 해야합니다.(Air Shower장치 설치) 내부와의 통신을 가능하게 해야 합니다. 필요하다면 휴식실을 설치해야 합니다. |
반출,반입 | 가능한 한 Pass Box를 이용(부품) 반입구를 부착시킵니다(대형장치) |
실내배치 | 최소화로합니다. 단순하게 합니다 관리사무소를 외부에 둔다. 연락법 고려. 확장계획 사람의 이동을 최소로 합니다. 청정기류 방향과 작업위치 발진 작업에는 칸막이, 국소배기 Return Duct로 대책. |
실내설비 | 배선, 관Duct 노출은 최소로 합니다. 조명기구는 가능한 한 천장안으로 비상구, 화재경보, 소화기, 정전, 유독가스 인터폰, 전화 청소 입자농도, 온도, 습도기록 |

Fed.Std.209E등급(Class)분포

* Class 상한치는, 각 Class 이름이 됩니다.
상한치는 지정입 이상의 농도(단위 체적당 입자수)로 표시됩니다.
상한치는 지정입 이상의 농도(단위 체적당 입자수)로 표시됩니다.
Fed.Std.209E의 주요개정
항목 | 내용 |
---|---|
단위 | Miter법을 주로 하고, 영국 단위를 병용해서 기록 |
Class표시 | 0.5㎛이상의 입자수를 10/㎥로 하고 X를 Class 표시로 했다. Miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다. 예를 들면, 209D에 있어서 Class 100dms 100P/ft≒10 P/㎡이고, Class M3.5로 표시합니다. |
Class분류 | 209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class 100,000 보다 청정도가 낮은 Class M7을 추가했습니다. |
미소입자계측 | 계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측 입자 지름을 0.02㎛ 이상으로 했습니다. 이 경우 표시는 Class U(X)로 합니다. U = 미소입자 계측표시 X = 최대 허용 입자농도 P/㎡ |
표준측정입자 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 Micron을 기준으로 하나, 그 외의 입자 지름을 사용해도 좋습니다. |
샘플링 | 계측 장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나, 입자농도는 개/단위체적으로 표시할 것. 샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순 평균으로 괜찮다. Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간단축을 위해 연속 샘플링을 해도 좋습니다. |
부록 | 209D의 관련 규격, 용오는 삭제되고, 등속 흡인법, 초미소립자 농도 측정법, Class M2.5보다 청정도가 높은 경우의 연속 샘플링법의 3항목이 추가됩니다. |
Class 표시 | Class 상한치 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
0.1㎛ | 0.2㎛ | 0.3㎛ | 0.5㎛ | 5㎛ | |||||||
단위체적 | 단위체적 | 단위체적 | 단위체적 | 단위체적 | |||||||
Miter법 | 영국단위 | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) | (㎡) | (ft3) |
M1 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | - | - | |
M1.5 | 1 | 1,240 | 35.0 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | - | - |
M2 | 12,400 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | - | - | |
M2.5 | 10 | 35,000 | 350 | 2,660 | 75.0 | 1,060 | 30.0 | 353 | 10.0 | - | - |
M3 | - | 991 | 7,570 | 214 | 3,090 | 87.5 | 1,000 | 28.3 | - | - | |
M3.5 | 100 | - | - | 26,500 | 750 | 10,600 | 300 | 3,530 | 100 | - | - |
M4 | - | - | 75,700 | 2,140 | 30,900 | 875 | 10,000 | 283 | - | - | |
M4.5 | 1,000 | - | - | - | - | - | - | 35,300 | 1,000 | 247 | 7.00 |
M5 | - | - | - | - | - | - | 100,000 | 2,830 | 618 | 17.5 | |
M5.5 | 10,000 | - | - | - | - | - | - | 353,300 | 10,000 | 2,470 | 70.0 |
M6 | - | - | - | - | - | - | 1,000,000 | 28,300 | 6,180 | 175 | |
M6.5 | 100,000 | - | - | - | - | - | - | 3,530,000 | 100,000 | 24,700 | 700 |
M7 | - | - | - | - | - | - | 10,000,000 | 283,000 | 61,800 | 1,750 |
크린품을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야 할 사항입니다.

기본원칙 | 고려사항 | 조치사항 |
---|---|---|
Preventig | 실내공기 압력 | 실간 차압조정, 양압유지, 도입외기량 조정 |
건축적인 동선 계획 | 작업원, 물류, 원료의 동선 구분 | |
청정역과 오염역의 구분 | ||
Air Lock, Air Shower 설치 | ||
HEPA Filter | Filter Leak 방지 | |
Prohibity | 인원관리 | 필요인원 출입 통제, 작업원 동선 최소화 |
인원의 복장관리 | 무균익, 청정장갑 착용, 인체호흡 기류차단 | |
건축 내장재, 재료 | 표면 가공처리, 무발진 재료사용 | |
Proteetig | 실내기류 | 취출구 위치조정, 층류풍속 및 환기회수 조정 |
건축 내장재 | 무정전 내장재 사용, Corner Mould 사용 | |
실내청소 | 청소기준에 따른 지속 실시 | |
Purgiry | Clean Room 방식 | 시설용도의 정확한 파악 |
실내기류 | 기류 분포 예상 및 환기구 위치 조정 발진 | |
환기회수 | 환기 회수를 높게 유지 | |
Providing | 항온방습 System | 항온방습기 셀러, 작업인원 및 생산설비의 발열량 고려 |

항목/방식 | 수직층류방식 Vertical Laminar Airflow Clean Room |
수평츨류방식 Horizontal Laminar Airflow Clean Room |
난류방식 Tubulent Airflow Clean Room |
크린튜브방식 Clean Tube Clean Room |
터널방식 Turnel Clean Room |
---|---|---|---|---|---|
청정도 | Clean 1~100 | Clean 100 | Clean 1,000~100,000 | Class 1 | Class 1~100 |
작업중청정도 | 작업자로부터의 영향이 적습니다 | 상류발진이 하류에 영향을 미칩니다 | 작업자로부터 영향이 있습니다 | 작업자로부터 영향이 없습니다 | 작업자로 부터 영향이가장 적습니다 |
초기투자비용 | 상 | 중 | 하 | 하 | 중 |
운전비용 | 상 | 중 | 하 | 하 | 중 |
보수 | 쉬움 | 어려움 | 쉬움 | 어려움 | 어려움 |
유지관리 | 쉬움 | 쉬움 | 쉬움 | 어려움 | 쉬움 |
확장성 | 어려움 | 어려움 | 가능하다 | 어려움 | 쉬움 |
정밀제어 | 실전체 제어를 위해 실내의 기류 불균형시 발생가능 할 수 있습니다 | 상류발진이 하류에 영향을 미칩니다 | 불균형이 있습니다 | 고청정도 유지 | 작업부보다 고정밀도 제어가능 |
시스템 | ![]() |
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기류방식 (Patterns of Air Flow)
층류식 ( 수직 , 수평 ) 난류식 , 혼류식 , 터널식이 있고 , 각각의 특징을 가지며 , 사용목적을 고려하여 결정합니다.
청정도 (Cleanliness Level)
크린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다 . 청정도 레벨은 기류방식 , 환기 횟수 , 실내 압력등을 충분히 검토함으로써 달성됩니다 .
계획 (Lay - out)
작업성을 고려하여 또한 청정도를 만족하도록 lay - out 을 결정합니다 .
먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리합니다 . 또 사람 , 물건의 출입구 , 통로 utility, 유지 보수 등을 종합적으로 겸토하는 것이 좋습니다 .
먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리합니다 . 또 사람 , 물건의 출입구 , 통로 utility, 유지 보수 등을 종합적으로 겸토하는 것이 좋습니다 .
구조 , 재료 (Structure & Materials)
가능한 한 실내 표면을 매끄럽게 해서 기류가 흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다 . 먼지 발생이 적을뿐만 아니라 입자가 잘 부착되지 않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다 . 작업내용에 따라 내약품성 , 내습성 , 내 화학성을 가진 재료를 사용하는 경우도 있습니다.
부속장치 (Equipments)
크린룸을 구성하는 주변장치에는 먼지 제어 , 압력유지용에 air shower ( 사람 입출입용 ), pass box ( 물건 출입용 ), safety damper ( 실내 압력조정용 ) 등이 있고 물품 포장들의 보관을 위한 크린스토카 . 크린락카 등이 있습니다.
따라서 각각 기능을 충분히 이해하지 않으면 안됩니다
따라서 각각 기능을 충분히 이해하지 않으면 안됩니다
사람과 물건의 관리 (control of working persons and materials)
작업자, 외부에서 반입되는 물품은 최대의 발진원인입니다. 무진복과 화장의 문제등을 포함하여 작업자는 크린룸화에 대한 기본지식이 필요합니다.
유틸리티 (Utility)
급수구 , 가스 , 전기 등 에너지 공급을 위한 장치는 기류 방식 , lay - out 의 fiexibility 를 고려하여 결정하여야 합니다. 또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 주의할 필요가 있습니다.